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革新工業流體監控——FM31系列PFA液體質量流量控制器

更新時間:2025-06-06   點擊次數:77次

在半導體制造、生物醫藥、超純水制備等高精度工業領域,液體流量測量的精準性與耐腐蝕性直接關乎產品質量與生產安全。FM31系列PFA材質液體質量流量控制器,以突破性技術設計重新定義行業標準,成為苛刻工況下的流量監控方案。

一、材質革新:PFA打造耐蝕金身,無懼強酸強堿

FM31系列核心部件采用聚全氟乙丙烯(PFA)材質,兼具聚四氟乙烯(PTFE)的化學惰性與氟樹脂的加工性,可耐受濃硫酸、氫氟酸等強腐蝕性介質,同時抵御有機溶劑、氧化劑的侵蝕。接液部分無O型密封圈設計,消除橡膠老化導致的泄漏隱患,在半導體工藝中可精準監控光刻膠、蝕刻液等特殊流體,在生物醫藥領域可安全計量培養基、藥液等敏感介質,為高純度、高潔凈度生產流程保駕護航。

二、結構精簡:渦流傳感+零動件,構建超穩測量系統

傳統流量計因機械部件磨損易導致精度衰減,而FM31系列創新性采用無移動部件設計:渦流發生器產生穩定渦旋場,渦流檢測器通過非接觸式電磁感應捕捉流體動態,將流速信號直接轉換為電信號輸出。這一結構不僅消除機械振動干擾,更使壓力損失降低至傳統產品的1/3,在0.4L/MIN微小流量下仍保持±0.5%FS的高精度。LED顯示屏實時顯示瞬時流量與累計值,操作人員無需額外設備即可完成現場調試與監控,顯著提升生產效率。

三、場景適配:多行業解決方案,全流程品質保障

從超純水制備系統的流量監控,到半導體晶圓清洗工藝的化學藥劑配比,FM31系列憑借以下優勢成為行業標配:

· CE認證合規性:通過歐盟安全認證,符合工業設備電磁兼容標準,可無縫接入全球自動化系統;

· 無粒子污染設計PFA材質表面光潔度達Ra0.2μm,無金屬析出風險,滿足半導體級潔凈度要求;

· 安裝自由度:緊湊型設計節省60%安裝空間,支持水平、垂直、傾斜多角度安裝,適應復雜管路布局。

四、技術迭代:FM31系列對FM01的全面超越

作為FM01系列的升級之作,FM31系列在接液材質、顯示功能、壓力等級三大維度實現突破:接液部升級為全PFA材質,耐溫范圍擴展至-50℃~150℃;新增LED數字顯示屏,支持4-20mA模擬信號與Modbus RTU數字信號雙輸出;壓力承受能力提升至2MPa,可穩定運行于高壓輸送場景。這些升級使設備在光伏電池片生產、集成電路封裝等高精度工藝中的適用性大幅提升。

在工業4.0時代,FM31系列PFA液體質量流量控制器以“耐蝕性+精準度+穩定性”三重優勢,重新定義液體流量監控標準。無論是半導體制造的納米級工藝控制,還是生物醫藥的GMP合規生產,這款設備都將成為保障產品品質、提升生產效能的核心利器。選擇FM31系列,即是選擇未來工業的可靠伙伴。




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